激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source），简称为 LDLS，是一款借助高能聚焦激光束驱动氙灯离子体的超高亮宽光谱光源。此系列产品能够在 170 纳米至 2100 纳米的光谱区间内，展现出超高的发光亮度。举例来说，在 DUV+（170 - 300 纳米）波段，其亮度是氙灯等传统光源的 10 倍有余。并且，相较于传统光源，该光源的发光寿命大幅提升，整整高出一个数量级，达到了超过 9000 小时。

ATG7500 系列光源的核心优势源于其独特的工作原理。传统电致发光光源依赖电极放电激发气体发光，而 LDLS 采用激光泵浦等离子体技术：通过 65W/30W 激光束聚焦激发氙气介质，形成直径仅 100μm 量级的高能等离子体。当电子在激光激发下跃迁至高能级再返回基态时，会释放覆盖 190-2500nm 的宽光谱光子。

这种无电极驱动设计带来了三大突破：

• 亮度提升 10 倍以上：在深紫外波段（170-300nm），ATG7500 的光谱辐射亮度可达 185mW/(mm²・sr・nm)，远超氙灯等传统光源

• 寿命延长至 10000 小时：避免了电极损耗，耗材成本降低 70% 以上

• 光谱稳定性达 0.15% STD：等离子体质心位置波动小于 0.15μm，确保长期测量数据的可靠性

ATG7500 系列实现了从紫外（190nm）到近红外（2500nm）的全波段覆盖，且光谱功率密度分布均匀。对比数据显示，其深紫外波段强度是传统氘灯的 10 倍以上，在半导体光刻胶检测、紫外光谱成像等场景中，能提供更精准的吸收与散射。

ATG7500-30输出谱图

175μm×415μm 的等离子体尺寸，使其成为理想的百微米级点光源。配合 0.4-0.6NA 的数值孔径，可高效耦合至 600μm 光纤（耦合效率 > 0.53W）或光谱仪狭缝，特别适合微芯片、生物细胞等精密样本的成像与分析。

传统氙灯寿命通常仅 1000-2000 小时，而 ATG7500 系列通过无电极设计，将光源寿命提升至 10000 小时以上。这意味着校准间隔延长 5 倍，显著降低了科研与工业应用中的维护成本。

ATG7500丰富型号参数可供选择：